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WC-8.0%Co基底上微波等离子化学气相沉积金刚石膜

刘泉 , 周健 , 余卫华 , 刘桂珍

中国有色金属学报

研究了基片预处理和工艺参数对微波 等 离子化学气相沉积金刚石涂层WC-8.0%Co刀具质量的影响, 研究了提高成核密度和沉积 速 率的方法, 用SEM, XRD, 激光Raman光谱分析了金刚石涂层质量, 用切削试验检测金刚石涂层与刀具基 底的附着情况 。 结果表明, 在1∶3的稀盐酸中酸洗15  min后用 氨水浸泡10  min的基片处理方法能有效地抑制金属钴的溢出, 从而提高金刚石涂层 的质量, 并且使刀具 使用寿命提高10倍以上。

关键词: WC-Co 刀具 , 金刚石膜 , 微波等离子化学气相 沉积

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